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基于飞秒激光双光子的微齿轮加工技术研究

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　(1)课题来源与背景：本课题由温州市科学技术局和浙江长城减速机有限公司共同资助，随着微机电系统（MEMS）逐步从实验室走向实用化，目前已发展成为一个新兴产业，开展该技术的研究具有重要的意义。
　　（2）技术原理及性能指标：飞秒激光双光子加工技术是一种真三维光固化成型技术，超快飞秒激光双光子在材料内进行三维扫描将SU-8、S-3光刻胶固化成型，再经过清洗、显影即可完成MEMS零部件的...

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