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表面形貌测量仪

2008年

应用技术

成果简介

该仪器仪表适用于机械行业精密机械零件的表面轮廓、波纹度和粗糙度等表面形貌的测量。
该测量仪采用接触式测量原理在二维或三维空间测量精密机械零件的表面形貌。仪器主要由Z向电感传感器、X向光栅尺、X向和Z向导向装置、Y方向移动工作台、测量电路、方向控制系统以及测控软件等组成。仪器工作时在X向和Z向导向装置的导向作用下，高精度电感传感器和光栅尺进行Z向和X向的数据采集，信号经过...

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