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SE-3型太阳能电池刻蚀机

2010年 应用技术
  • 成果简介
技术特点：
1.因钻蚀引起的硅片边缘损耗小（约1mm左右），有利于提高太阳能电池片的效率；
2.均匀性好，每批的一致性相当好；
3.刻蚀片量大，每次可以超过500片；
4.工艺过程自动控制。
主要指标：
1.平板式反应室系统1套，可放置125×125mm2以内的各种电池片...
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