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红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术

2010年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术，该技术采用金属的在交变电磁场中的感应电流实现铟柱的熔融，在熔融铟柱的同时不加热碲镉汞材料，这既提高了互连强度又避免了碲镉汞芯片因高温而性能退化，很好的解决了焦平面工艺中的铟柱回熔问题。　...
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