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微机械电容式加速度传感器及制作方法

2010年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明涉及一种微机械电容式加速度传感器及制作方法,属于微电子机械系统领域。其特征在于,最为关键的就是通过可动质量块上下两面的弹性梁交错分布,不重合,呈90°交叉或平行分布的设计,利用各向异性腐蚀技术,在(100)单晶硅片上实现在无凸角补偿下矩形质量块的形成,同时在质量块的上下两面形成直弹性梁结构。利用一般的硅硅键合技术实现了三层硅片的键合。在上电极和中间电极引出的制作上,通过可动质量块电极...
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