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激光玻璃机械化学抛光方法

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种激光玻璃的化学机械抛光方法,该方法包括以下关键:在精磨和抛光过程中采用不同粒度的磨料精分工序并精确控制加工去除量以保证消除上道工序产生的破坏层;在工序间采用腐蚀性溶液对加工表面和亚表面进行腐蚀,使得破坏层“疏松”;在抛光剂中添加PH值调节剂,改变抛光效率。对加工表面和亚表面腐蚀提高了表面加工的质量和后道工序的加工效果。本发明提高了激光玻璃表面加工的粗糙度,在实施例中采用该化学机械抛光方...
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