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三氯氢硅生产过程中废硅粉回收工艺技术研究

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　该项目主要由高效旋风分离器、硅粉回收罐、气体缓冲罐、星形加料器、管道吹堵装置、硅粉吹除补气装置、平衡压力管道等构成。通过高效旋风分离器可以将反应生成的三氯氢硅、四氯化硅等混合气从合成炉顶部出来时携带的大量硅粉分离下来，沉积于高效旋风分离器下面的废硅粉回收罐内，此工序为后序除尘减轻了负担，后序除尘设备中布袋过滤器负担减小后，有效增加了布袋的使用寿命。气体缓冲罐用于吹渣时储存带压气体（吹渣压力为1...
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