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四管氧化扩散系统

2004年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1.概述：
四管氧化扩散系统是目前国内自动化程度最高的一种处理6″硅片的、卧式四管微控扩散炉。该设备具有四套独立工艺炉管，供6″硅片扩散、氧化工艺使用。除了人工装卸石英舟外，其余全部工作由计算机自动处理、完成。四管氧化扩散系统自立项以来，在总装备部、信息产业部军工基础局领导的支持和关怀下，在公司各级领导的直接领导下，经过课题组全体人员的艰苦努力、奋力拼搏，终于完成了该项...
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