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介电、铁电材料的制备科学及关键基础问题

2010年 基础理论  成熟应用阶段
  • 成果简介
(1)在高介电系数材料研究方面，我们较早地报道了采用脉冲激光沉积法在商业化白金镀层硅衬底上获得高质量的钛酸铜钙多晶薄膜，系统研究了沉积气压、基片温度、激光能量以及薄膜厚度对薄膜微结构以及介电性质的影响，为该类薄膜在硅基上的生长提供了可靠的生长参数。并且提出了该薄膜介电系数进一步提高以及降低介电损耗的方法，揭示了钛酸铜钙多晶薄膜高介电系数的起源。系统研究了不同退火温度、退火气氛与钛酸锶钡薄膜...
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