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重掺磷直拉硅单晶的制备技术及应用

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
硅单晶是微电子工业的基础材料，它支撑了过去半个世纪中微电子工业的快速发展。目前以微电子工业为核心的信息电子产业已经超过汽车、石油和钢铁为代表的传统产业而成为世界上第一大产业。硅单晶对微电子器件的性能有重要的影响，器件性能的改善很大程度上依赖于硅单晶制备技术的进步。
重掺直拉硅单晶作为硅外延片的衬底材料，是重要的硅单晶品种，广泛地用于集成电路和功率电子器件，对于促进通信、...
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