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多晶硅生产过程氯化氢深度脱水技术

2008年 应用技术
  • 成果简介
通过采用化学改性的多孔吸附剂，采用提高硅铝比，提高吸附剂的抗酸性，确保净化剂在HCl介质中的晶格的稳定性。通过多级脱水的集合，有效降低HCl的含水量。HCl中95%的水份在初级净化器内脱除，余下的残余水在终端吸附器内除去。通过工艺组合，实现多晶硅生产过程原料HCl水的深度净化，此项新技术可大大推动我国多晶硅生产产业结构的升级。我国目前运行的多晶硅生产线多条，采用上述技术可以完全取代目前间接...
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