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立式四氯化硅化学汽相沉积合成石英玻璃

2008年

应用技术

成果简介

在合成石英玻璃生产工艺上创新，打破传统卧式CVD工艺的生产模式，发明了立式CVD合成石英玻璃新工艺，大大提高了JGS1石英玻璃的产品尺寸、产品质量和生产效率，已申请国家发明及实用新型专利并获得授权（发明专利：立式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法（ZL03 122969.7）；实用新型专利：一种立式合成石英玻璃沉积炉（ZL 03 2 44051.0）、合成石英玻璃生产用燃烧器（ZL 200...

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