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用于加工、医疗、科研用途的准分子激光器技术

2009年 应用技术
  • 成果简介
准分子激光器作为紫外激光光源，输出能量大、平均功率稳定、工作寿命长。在光刻（如半导体光刻、PCB激光投影成像加工等）、精细加工（如微纳结构加工、光纤光栅制作、激光打标等）、材料处理（如液晶显示平板退火、集成芯片退火等）、激光医疗（如眼角膜屈光度矫正、皮肤病治疗等）、科研（如材料制备、光谱技术、激光探测等）以及军工等领域有着广泛的应用。
本项目组从80年代即开始进行准分子...
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