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用于超净环境的硅片传输机械手研发与应用

2008年 应用技术
  • 成果简介
该项目已申报国家重大科技专项。以常州铭赛机器人科技有限公司为责任单位，哈尔滨工业大学、大连理工大学、中国科学院自动化研究所、上海微电子装备有限公司为联合单位，组成产学研联盟。哈尔滨工业大学机器人研究所、大连理工大学、中国科学院自动化研究所发挥前端关键技术研发作用。上海微电子装备有限公司发挥用户牵引、在线测试方面的优势，以实现产品化和产业化为目标，产学研联合攻关。目标是研发2种平面关节型单臂...
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