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表面性能及膜厚测试系统研究

1999年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
三套实用化的子系统主要用于膜层厚度、光学特性、光学缺陷的在线检测和测试，监控磁光盘生产线状态和调整工艺参数；第一套通过对系统光学、机械的精密调整、软件逐带识别方案，实时识别和检测4x密度盘的各种缺陷；第二套选用高分辨、高精度光谱CCD测试头，精密设计CCD扫描、模拟仪器信号处理电路，采用了高可靠的单片机作为前端机。第三套采用新的数值分析、付立叶变换、多值平均、变换入射角等方法，对介质、金属...
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