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纳米硅/氮化硅发光薄膜微结构调控研究

2010年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　硅基纳米材料是近年迅速发展起来的一类新型光电信息功能材料，在未来的发光二极管和光电子集成技术中都具有潜在的重要应用。
　　本项目利用螺旋波等离子体化学气相沉积技术，设计了不同方案制备镶嵌在氮化硅介质中的纳米硅微结构(纳米硅/氮化硅)薄膜，并实现了对其微结构的调整与控制。在实验结果和理论分析的基础上建立了纳米硅/氮化硅薄膜光致发光模型，给出了纳米硅颗粒的尺寸分布对纳米硅薄膜能级结构、...
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