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高灵敏度气密性智能检测系统

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该项目由充气回收子系统、真空箱与抽空子系统、氦质谱检漏子系统以及电气控制子系统组成。真空箱子系统首先对被检件充高压氮气，利用真空箱内真空度的变化判断是否存在大漏，然后对被检件放气并抽空，为下一步被检工作充氦作准备；充气回收子系统将高压罐内的氦气充入被检工件，在生产线上用氦质谱检漏子系统（仪）进行密封性检测，检测完成后，被检工件内的氦气经过过滤、压缩回收至高压罐内，以便循环使用。项目具有高精...
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