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超净高纯电子化学试剂的研制

2010年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　简要技术说明：
　　丙酮研制技术方案是：吸附－干燥－精馏。
　　异丙醇技术方案是：络合脱水－微滤膜过滤－多级精馏－纳滤膜过滤。
　　应用前景：
　　一是用于基片在涂胶前的湿法清洗，二是用于在光刻过程中蚀刻及最终的去胶，三是用于硅片本身制作过程中的清洗。在集成电路（IC）的加工过程中，超净高纯试剂主要用于芯片及硅圆表面的清洗和刻蚀，其纯度和清洗度对...
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