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双面YBCO外延高温超导薄膜的两面同时溅射沉积技术

2001年

应用技术

初期阶段

成果简介

本项目采用单靶倒筒式直流溅射方法在基片两面同时原位沉积YBCO薄膜，保证双面薄膜基片的表面的两面一致性；采用双轴旋转和对单端开口的圆筒形加热器进行热设计，实现大面积基片的表面温度均匀，从而保证大面积双面膜的面内均匀性；采用自外延技术，提高YBCO双面薄膜的宏观电学性质。本项目研制的YBCO双面薄膜性能如下：尺寸≤φ50.8mm，TCO=91.8K，ΔTC=0.4K，JC（77K）＞1×10...

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