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Si基SOI亚微秒热光开关及4×4集成面阵

2009年

应用技术

成果简介

成果简介：
　　中国科学院半导体研究所研制成功了国内第一批芯片级亚微秒热光开关及4×4集成面阵，光开关面阵的实验结果报道在国际上尚属首次。该器件以SOI材料为基片，以标准微电子工艺为加工手段，采用多模干涉（MMI）耦合器结构，具有尺寸小、结构紧凑、制作容差大、波长带宽宽、对偏振不敏感等特点，可广泛应用于新一代WDM全光通信网络中实现光路由选择、光包交换、光信号的上下载和自愈保护...

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