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直径1mm圆柱超声微电机和在光学CT窥镜中的应用

2009年 应用技术
  • 成果简介
项目介绍:基于压电柱弯曲振动模态的超声波微电机,其直径仅有1mm细,长约5mm,重量仅有36毫克。它是采用压电柱作为定子,在压电柱的表面均匀分割出四个电极,进行极化和施加驱动电压。电极间隔的优化设计以及对原型样机的性能测试的实验表明,该电机能承受350Vpp的驱动电压,获得1800rpm的转速和4的堵转力炬。该电机已于2003年10月用于OCT窥镜成像系统,取得分辨率优良的图像。该微电机可...
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