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带有纳米复合结构磁颗粒薄膜的射频微机械电子系统（RF-MEMS）平面集成电感

2009年 应用技术
  • 成果简介
项目介绍：随着信息技术的飞速发展，需要以更快的速度传输大量的数据。更高的移动性和体积小/重量轻的要求，使通讯系统手持设备的小型化和微型化迅速的进行。射频电路中的无源器件同样需要微型化，例如电感。为了设计在单片微波集成电路(MMIC)或片上射频电路中应用的电感，微螺旋线圈型的平面电感已经被应用。不过，二维的线圈结构在芯片上占用了大量的面积，造成了昂贵的造价。纳米复合结构的磁颗粒薄膜显示出了高...
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