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钽钨靶材生产工艺技术研究

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该项目针对半导体、平面显示器等产业的发展需求，研制溅射镀膜用钽钨靶材，解决国内只能生产钽钨锭，而无法生产钽钨靶材的问题。项目采用电子束轰击精炼钽钨锭技术和锻造、轧制、热处理等技术，确保钽钨锭晶粒的细化和均匀化，使晶粒呈现一定的取向。钽钨靶材晶粒度、平整度和粗糙度满足国内外用户要求，实现批量生产。钽钨靶材已应用到大屏幕液晶电视上，为国内企业生产高性能液晶显示器奠定了材料供应基础，钽钨靶材新产...
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