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采用二维自适应流体模型对高速率微晶硅生长机理的研究

2009年 基础理论
  • 成果简介
本课题是针对硅薄膜太阳电池下一代技术非晶硅/微晶硅叠层薄膜太阳电池中的高速制备微晶硅太阳电池而提出的。为获得高效微晶硅薄膜太阳电池，器件质量微晶硅薄膜的研发是关键。为此，本课题主要通过实验和理论模拟相结合方法，同时借助于对材料特性的测试与分析，以及对薄膜沉积过程中等离子体的电学和光学诊断，来建立适于甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备高速微晶硅薄膜的二维自适应流体模型。通过模拟结果与实验...
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