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多晶硅尾气全循环干法回收新工艺

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本工艺克服了传统PSA回收尾气中氢气的不足，同时解决了将传统的变压吸附方法用于处理多晶硅尾气并回收利用涉及的以下几个技术难题：
　　1）多晶硅生产过程的尾气回收不是一个单纯的回收单元，还涉及到多晶硅生产本身，是一个必须全面统筹考虑的系统工程；
　　2）多晶硅尾气组分复杂、选择对各种尾气杂质同时一次吸附的吸附剂及吸附工艺有一定难度；
　　3）多晶硅生产过程中有...
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