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超细高纯二氧化硅的生产方法

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
随着我国信息产业的快速发展，越来越多的电子信息产品的产销量开始进入世界前列，极大的带动了我国集成电路市场规模不断扩大，超细高纯SiO2作为电子工业领域用主要填充材料以及其他领域用的优良功能材料也随之显示出广阔的发展前景。而我国这项技术起步晚，国外已经大批量的应用到了航天、电子、大规模集成电路等领域内，与国外技术相比，国内尚有较大的差距。由于超细高纯材料的生产技术及设备被少数国家所垄断，特别...
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