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一种用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明提供一类适用于电化学电容－电压(ECV)方法测量锑化物半导体材料载流子浓度剖面分布电解液，目的在于提高电化学电容－电压方法测量锑化物材料载流子浓度的准确性。　　其基本特征在于：基础溶液为酒石酸钾钠的水溶液；在测量不同导电类型（p型或n型）的锑化物半导体材料时，分别添加酸性溶液或者碱性溶液以形成可靠的电解液－半导体肖特基结，从而达到准确测量的目的。添加的酸性溶液可以是盐酸、酒石酸或醋酸等非...
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