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一种用于测量指向扫描镜角速度的装置及方法

2009年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种用于测量指向扫描镜角速度的装置及方法，该装置包括：光学部分和电子学部分。光学部分由直角反射镜和二块分光镜组成。电子学部分由激光器、单元光电探测器、信息处理模块组成。光学部分将指向扫描镜的微小角度变化转化为激光光束干涉的强度信号，利用探测器将光强信号转化为电信号，通过信息处理模块的处理和PC机内存有的反演软件获得指向扫描镜的角速度。本发明的装置结构紧凑，装调简单，成本低廉，测...
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