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微结构ICP激发源及其性能研究

2009年

应用技术

中期阶段

成果简介

该项目采用PCB镀金工艺加工微结构的微型ICP激发源是可行的，具有工艺简单、成本低的优点。采用立体螺旋线圈与PCB镀金工艺制造的交指电容构成的微型ICP激发组件在国内外未见报道，可明显降低射频激励功率。本微型ICP激发源驱动使用13.56MHz射频源，其频率远远低于国外报道的100MHz～500MHz工作频率，和国内报道的2.54GHz工作频率。该微型ICP发生器具有成本低，使用工业上开放...

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