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DX1718型多线切割机研制开发

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该课题是2009年第一批唐山市科学技术研究与发展计划项目，项目课题编号：09110201b；起止年限2007年6月～2009年4月，课题依托单位：唐山晶玉科技有限公司。
数控多线切割技术实现了集成电路制造技术的跨越式发展，已成为数控机床制造技术及集成电路制造技术的标志。随着IC产业日新月异的发展，硅片制程的线径的降低，硅片直径的扩大，以及对几何尺寸的更高要求和对切割表面...
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