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碳氧氮系类金刚石薄膜的合成及其力学和表面性能研究

2009年

应用技术

初期阶段

成果简介

分别采用等离子浸没离子注入和沉积（plasma immersion ion implantation and deposition，PIIID）以及直流磁过滤阴极真空弧源沉积(Direct current magnetic filter cathodic vacuum arc deposition, DC-MFCVAD)的方法在室温下合成N、O元素掺杂的类金刚石（Diamond-Like ...

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