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多阶相位型二元光栅（激光效果镜）

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　项目产品设计采用了二元光学技术，二元光学技术是利用超大规模集成电路（VLSI）处理技术的灵活性和精确性及计算机辅助设计（CAD）工具，在电介质板或半导体基板上制作的衍射微光学元件。通过几何光学（简单的光路追迹）、标量衍射理论（傅立叶光学），采用计算衍射相位分布的设计软件，对光学功能进行建模，再按照建模制作母板，进行加工，其加工技术包括光刻、掩膜、刻蚀和镀膜。
　　项目产品采用双面加...
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