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外力作用下激光烧蚀制备纳米硅晶粒的输运动力学研究

2009年 基础理论
  • 成果简介
“外力作用下激光烧蚀制备纳米硅晶粒的输运动力学研究”系河北省教育厅自然科学基金指导项目（项目编号：Z2007222）。经课题组自2007年至2009年两年的研究，现已完成该项目的各项研究内容，取得了预期的研究成果，得到了一系列有意义的结果。
采用脉冲激光烧蚀沉积方法（PLA）制备纳米Si薄膜，研究气流的位置和大小以及电场的变化对所制备的纳米Si晶粒的平均尺寸及其分布的影...
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