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N2-H2辉光放电等离子体动力学过程研究

2009年

基础理论

成果简介

本项目通过建立N2或N2/H2直流和射频辉光放电等离子体PIC/MC模型，较为完善的研究其等离子体反应过程和各粒子的运动行为状态，进一步探索放电内部的物理过程和机理，为氮等离子体科学研究和应用技术提供科学依据。在深入研究N2气射频和直流辉光放电等离子体物理过程的基础上，从理论上探索获得“高浓度活化粒子富源”的最佳条件的途径，对过程参数优化，分析工件表面的结构及特性提供参考依据，从而提高应用...

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