首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

高稳定薄膜固定电阻器磁控溅射中高阻靶材

2009年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
靶材光滑平整无缺陷，尺寸382×128×14mm3；薄膜电阻器的阻值范围100Ω-30KΩ(未刻槽)；TCR＜28ppm/℃；高温储存实验，155℃，1000h，△R≤0.4203%R；寿命试验△R≤0.1706%R；耐湿实验△R≤0.6212%R。
高阻靶材国际先进水平，可代替进口，且价格大大低于进口材料，有较大的经济效益和社会效益。...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统