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优质低耗6-8英寸太阳能级硅单晶棒

2009年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
该项目通过采用新型的复合式热屏优化设计热场、双向导流系统优化设计气流场、采用新型固化碳毡降低热场能耗、采用高纯石墨及sic涂层石墨优化设计热场、采取高拉速、高晶转、低埚转、双向气流的拉晶工艺条件优化设计晶体生长工艺，选择高纯石英涂层坩埚，制造出大直径优质低耗太阳能级硅单晶。...
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