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高性能高温压力传感器

2009年 基础理论
  • 成果简介
　　研究了决定多晶硅压力传感器性能的两项关键技术：各向异性腐蚀硅杯和温度自补偿。通过研究四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液特性及在不同腐蚀条件下硅杯表面状况，确定了制作高质量硅杯的工艺条件。通过优化掺杂浓度，改善了传感器的温度特性，基本上实现自补偿。测试结果表明，多晶硅压力传感器综合精度达0.1%～0.2%FS，灵敏度温度系数绝对值小于3×10-4/℃，有广阔的应用前景。　　
　　自从l...
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