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脉冲激光引发过渡金属与硅及锗硅薄膜固相反应研究

2009年 基础理论
  • 成果简介
研究了脉冲激光退火对Ni、Co等过渡金属与硅及锗硅薄膜固相反应的可行性、有效性和优越性。获得了脉冲激光参数与生成物薄膜的物理及电学特性之间的依赖关系，并和常规热退火等工艺引发的固相反应做了系统比较。提取了脉冲激光退火引发过渡金属（如Ni、Co等）与硅及锗硅薄膜的固相反应的参数集合，获得了一些有意义、有价值的数据和结果。指出脉冲激光引发过渡金属（如Ni、Co等）与硅及锗硅薄膜的固相反应的优势...
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