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IC装备超精密运动系统创新技术研究

2009年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本研究成果针对IC制造装备的超精密运动系统关键技术进行创新发明。
研究成果可用于国内有关公司工件台掩模台样机以及国家科技重大专项的下一代工件台样机科技攻关中，对打破西方在光刻机这一战略装备上对我国的的技术封锁和专利壁垒发挥了重要作用，有极大的战略意义和社会效益。
在亚微米甚至纳米级超精密机床研发方面，本项目的专利技术亦具有潜在应用和深入推广价值，对于...
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