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非晶硅弱光型太阳电池产业化技术及应用

2001年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
非晶硅太阳电池产业化技术包括关键设备的设计制造和关键工艺技术的研究。主要有等离子体增强化学气相沉积（PECVD）分室连续沉积设备及大面积成膜技术，大面积非晶硅电池封装设备和封装技术，分室连续沉积设备基片自动传输控制系统，降低制造成本的超高频高速沉积设备和高速沉积技术，非晶硅电池修复设备和修复技术等。以上关键设备和技术在国内尚属空白。同时在内蒙和西藏安装了叠层非晶硅太阳电池示范电站，以推动其...
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