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等离子体辉光放电超高频（VHF）电源

2001年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
利用该超高频制备系统，可以在不降低材料质量的条件下高速沉积非晶硅材料（1nm/左右）和电池，还可在适当的氢稀释条件下高速沉积晶化硅薄膜材料（0.6nm/左右）和太阳能电池。故可进一步提高硅基薄膜太阳能电池的产品产率，从而降低太阳能电池制造成本。在国外，美国、日本和德国等有类似设备。
一般超高频辉光放电设备存在VHF电源功率辐射损失大和难以匹配等困难。该项成果的创新性和先...
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