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强炭化物元素衬底与弧光等离子体化学气相沉积金刚石膜间过渡层的研究

1991年 应用技术
  • 成果简介
该项目系统地证实了熔点在1400℃以上的十种强碳化物形成元素硅(Si)、钛(Ti)、钒(V)、铬(Cr)、锆(Zr)、铌(Nb)、钼(Mo)、铪(Hf)、钽(Ta)和钨(W)在直流弧光等离子体化学相沉积中均能用作为衬底材料，在其上实现金刚石膜的高分辨率的X射线衍射物相鉴定证实，每一种强碳化物形成元素衬底与金刚石膜之间均存在具有多晶结构的、含有单一组份或非单一组份的该衬底元素碳化的过度层。其中V、C...
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