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SOI材料制备及产业化

2004年

应用技术

成果简介

SOI(绝缘体上的硅)材料被称为21世纪的集成电路材料，IBM在微处理器方面的重大突破显示出它在高速微电子器件，低压、低功耗器件以及光通信器件等方面具有广阔的应用前景。该项目把握了SOI技术发展趋势，通过近20年SOI技术的研究工作积累，基本解决了SOI材料关键制备工艺技术，并推动了相关成果的产业化。SOI材料的国产化，将大大促进SOI技术在中国相关信息技术领域中的应用。合作方式：面议。...

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