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等离子体电子温度的控制用于反应粒子选择的研究

2001年 基础理论
  • 成果简介
辉光放电等离子体已广泛应用于材料加工领域，不论是对等离子体化学气相沉积还是等离子体刻蚀过程，其中等离子体电子温度都扮演了一个重要的角色，它决定了等离子体中反应粒子的产生和状态，并直接影响等离子体加工材料的结构和性能，所以如果能实现对等离子体电子温度的有效控制，从而选择所需要的反应粒子，这对等离子体在材料领域的应用是十分重要和有意义的。
本项目成功地研究了两种方法，实现了...
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