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URE-2000系列紫外深度光刻机

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　微电子设备是微电子工业发展的关键，一直受到世界各国的高度重视。URE-2000系列紫外单、双面深度紫外光刻机，是中国科学院光电技术研究所为适应国内、外微电子、微机械、微光学技术最新发展和市场需求，坚持高起点，瞄准国际技术前沿和国内、外发展趋势而创新研发的成果之一。该系列产品在分辨力增强技术、掩模对准技术、均匀照明曝光技术、工件台技术，线条侧壁增陡技术等关键单元技术上不断取得新的突破，尤其在深度...
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