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RK GGK-D10型数字坩埚控制器

2008年

应用技术

中期阶段

成果简介

　　在真空镀膜技术中，采用电子束蒸镀是当今主要镀膜方式之一。电子束蒸发源是电子蒸镀的关键设备之一。
　　RK GGK-D10型数字坩埚控制器是电子束蒸发源配套设备之一。
　　RK GGK-D10型数字坩埚控制器采用数字式控制，做到了可对不同类型的坩埚实行各种控制(点动、连续转动、往复转动等)；实现了转速宽范围(1～120分钟/转)连续可调；可自动、准确定位(定位精度达到±0...

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