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光束方向微小漂移检测系统

2001年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
一种光束方向微小漂移检测系统，特别适用于激光高精度刻录系统光束方向漂移的检测，也可用于对振动的定量检测。它主要包括两块相同参数、相互平行、中心置于系统光轴上的光栅，在两块光栅之前放置被测光源，在两块光栅之后置有探测器、信号处理器和计算机。本发明的检测系统具有结构简单、系统误差小、测量较直接、测量精度高（可达到微弧度量级）等优点。...
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