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同时测量厚度与折射率的激光干涉测量仪

2001年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
一种同时测量厚度与折射率的激光干涉测量仪，包括线性调制光源，由准直透镜，六个分束器，两块反射镜，以及置于样品架上的被测物体构成多光束干涉仪。由四个探测器分别通过四个位相器提取器和四个微分器连接到带显示面板的数据处理器上的四个端口构成信号检测和数据处理部分。
具有无需扫描干涉臂，能够实时测量物体的厚度与折射率，测量精度和灵敏度高的特点。...
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