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过滤阴极真空电弧技术制备非晶金刚石薄膜的研究及应用

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
采用过滤阴极真空电弧技术在室温下制备大面积具有光滑表面的非晶金刚石薄膜，这种薄膜具有宽波段的红外透明性，接近金刚石的硬度和弹性模量，宽光学带隙，良好的可掺杂性，性能工艺可调等一系列优点。本项目实现如下应用：(1) 过滤电弧沉积非晶金刚石薄膜具有良好的可掺杂性，通过掺硼能够获得p型导电的非晶金刚石薄膜，并保持了较宽的光学带隙，以p-a-D:B薄膜代替p-a-Si:H用作p-i-n结构的非晶硅...
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