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用于集成电路芯片检测与分析的比例差值算符及其应用技术

2001年 基础理论
  • 成果简介
该项目属微电子科学技术领域。
硅基集成电路芯片的制造有众多工艺流程参与，芯片的质量决定于加工持的硅、二氧化硅和它们组成的各种功能器件的性质与质量.其性能和质量由约定的相关参数来描述。检测与分析相关参数用其稳定性成为保证芯片质量的关键以.随着大规模集成化芯片上的器件尺寸微型化，为解决微小尺度的各种功能器件关键参数的直接提取（专利号：ZL90 1.04535.7）及建立一种...
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